టంగ్స్టన్ సిలిసైడ్

టంగ్‌స్టన్ సిలిసైడ్ WSi2 మైక్రోఎలక్ట్రానిక్స్‌లో ఎలక్ట్రిక్ షాక్ మెటీరియల్‌గా ఉపయోగించబడుతుంది, పాలిసిలికాన్ వైర్‌లపై షంటింగ్, యాంటీ-ఆక్సిడేషన్ కోటింగ్ మరియు రెసిస్టెన్స్ వైర్ కోటింగ్.టంగ్‌స్టన్ సిలిసైడ్ మైక్రోఎలక్ట్రానిక్స్‌లో 60-80μΩcm రెసిస్టివిటీతో సంపర్క పదార్థంగా ఉపయోగించబడుతుంది.ఇది 1000 ° C వద్ద ఏర్పడుతుంది.ఇది సాధారణంగా దాని వాహకతను పెంచడానికి మరియు సిగ్నల్ వేగాన్ని పెంచడానికి పాలీసిలికాన్ లైన్‌లకు షంట్‌గా ఉపయోగించబడుతుంది.టంగ్‌స్టన్ సిలిసైడ్ పొరను ఆవిరి నిక్షేపణ వంటి రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ద్వారా తయారు చేయవచ్చు.మోనోసిలేన్ లేదా డైక్లోరోసిలేన్ మరియు టంగ్‌స్టన్ హెక్సాఫ్లోరైడ్‌లను ముడి పదార్థంగా వాడండి.డిపాజిట్ చేయబడిన ఫిల్మ్ నాన్-స్టోయికియోమెట్రిక్ మరియు ఎనియలింగ్ మరింత వాహక స్టోయికియోమెట్రిక్ రూపంలోకి మార్చడం అవసరం.

టంగ్‌స్టన్ సిలిసైడ్ మునుపటి టంగ్‌స్టన్ ఫిల్మ్‌ను భర్తీ చేయగలదు.టంగ్స్టన్ సిలిసైడ్ సిలికాన్ మరియు ఇతర లోహాల మధ్య ఒక అవరోధ పొరగా కూడా ఉపయోగించబడుతుంది.

టంగ్స్టన్ సిలిసైడ్ మైక్రోఎలెక్ట్రోమెకానికల్ సిస్టమ్స్‌లో కూడా చాలా విలువైనది, వీటిలో టంగ్స్టన్ సిలిసైడ్ ప్రధానంగా మైక్రో సర్క్యూట్‌ల తయారీకి సన్నని ఫిల్మ్‌గా ఉపయోగించబడుతుంది.ఈ ప్రయోజనం కోసం, టంగ్‌స్టన్ సిలిసైడ్ ఫిల్మ్‌ను ప్లాస్మా-ఎచ్‌డ్‌ను ఉపయోగించి, ఉదాహరణకు, సిలిసైడ్‌ని ఉపయోగించి చేయవచ్చు.

రిచ్ స్పెషల్ మెటీరియల్స్ స్పుట్టరింగ్ టార్గెట్ తయారీలో ప్రత్యేకత కలిగి ఉంది మరియు కస్టమర్ల స్పెసిఫికేషన్‌ల ప్రకారం టంగ్‌స్టన్ సిలిసైడ్ స్పుట్టరింగ్ మెటీరియల్‌లను ఉత్పత్తి చేయగలదు.మరింత సమాచారం కోసం, దయచేసి మమ్మల్ని సంప్రదించండి.