స్పుటర్ టార్గెట్ మెటీరియల్ అంటే ఏమిటి

మాగ్నెట్రాన్ స్పుట్టరింగ్ పూత అనేది ఒక కొత్త భౌతిక ఆవిరి పూత పద్ధతి, మునుపటి బాష్పీభవన పూత పద్ధతితో పోలిస్తే, అనేక అంశాలలో దాని ప్రయోజనాలు చాలా గొప్పవి.పరిపక్వ సాంకేతికతగా, మాగ్నెట్రాన్ స్పుట్టరింగ్ అనేక రంగాలలో వర్తించబడింది.

　　మాగ్నెట్రాన్ స్పుట్టరింగ్ సూత్రం:

స్పుటర్డ్ టార్గెట్ పోల్ (కాథోడ్) మరియు యానోడ్ మధ్య ఆర్తోగోనల్ అయస్కాంత క్షేత్రం మరియు విద్యుత్ క్షేత్రం జోడించబడతాయి మరియు అవసరమైన జడ వాయువు (సాధారణంగా ఆర్ గ్యాస్) అధిక వాక్యూమ్ చాంబర్‌లో నింపబడుతుంది.శాశ్వత అయస్కాంతం లక్ష్య పదార్థం యొక్క ఉపరితలంపై 250-350 గాస్ అయస్కాంత క్షేత్రాన్ని ఏర్పరుస్తుంది మరియు ఆర్తోగోనల్ విద్యుదయస్కాంత క్షేత్రం అధిక వోల్టేజ్ విద్యుత్ క్షేత్రంతో కూడి ఉంటుంది.విద్యుత్ క్షేత్రం ప్రభావంతో, ఆర్ గ్యాస్ అయనీకరణం సానుకూల అయాన్లు మరియు ఎలక్ట్రాన్‌లుగా, లక్ష్యం మరియు నిర్దిష్ట ప్రతికూల ఒత్తిడిని కలిగి ఉంటుంది, అయస్కాంత క్షేత్రం మరియు పని చేసే వాయువు అయనీకరణ సంభావ్యత పెరుగుదల ప్రభావం ద్వారా ధ్రువం నుండి లక్ష్యం నుండి నిర్దిష్ట ప్రతికూల ఒత్తిడిని కలిగి ఉంటుంది, ఇది సమీపంలో అధిక సాంద్రత కలిగిన ప్లాస్మాను ఏర్పరుస్తుంది. కాథోడ్, లోరెంజ్ ఫోర్స్ చర్యలో ఆర్ అయాన్, లక్ష్య ఉపరితలంపైకి ఎగరడానికి వేగాన్ని పెంచుతాయి, లక్ష్య ఉపరితలాన్ని అధిక వేగంతో పేల్చివేస్తాయి, లక్ష్యంపై చిమ్మిన పరమాణువులు మొమెంటం మార్పిడి సూత్రాన్ని అనుసరిస్తాయి మరియు అధిక గతిశాస్త్రంతో లక్ష్య ఉపరితలం నుండి దూరంగా ఎగురుతాయి. సబ్‌స్ట్రేట్ డిపాజిషన్ ఫిల్మ్‌కి శక్తి.

మాగ్నెట్రాన్ స్పుట్టరింగ్ సాధారణంగా రెండు రకాలుగా విభజించబడింది: DC స్పుట్టరింగ్ మరియు RF స్పుట్టరింగ్.DC స్పుట్టరింగ్ పరికరాల సూత్రం చాలా సులభం, మరియు లోహాన్ని చల్లేటప్పుడు రేటు వేగంగా ఉంటుంది.RF స్పుట్టరింగ్ యొక్క ఉపయోగం మరింత విస్తృతమైనది, వాహక పదార్థాలను స్పుట్టరింగ్ చేయడంతో పాటు, కాని వాహక పదార్థాలను కూడా చిందించడం, కానీ ఆక్సైడ్లు, నైట్రైడ్లు మరియు కార్బైడ్లు మరియు ఇతర సమ్మేళన పదార్థాల రియాక్టివ్ స్పుట్టరింగ్ తయారీ.RF యొక్క ఫ్రీక్వెన్సీ పెరిగితే, అది మైక్రోవేవ్ ప్లాస్మా స్పుట్టరింగ్ అవుతుంది.ప్రస్తుతం, ఎలక్ట్రాన్ సైక్లోట్రాన్ రెసొనెన్స్ (ECR) రకం మైక్రోవేవ్ ప్లాస్మా స్పుట్టరింగ్ సాధారణంగా ఉపయోగించబడుతుంది.

　　మాగ్నెట్రాన్ స్పుట్టరింగ్ కోటింగ్ టార్గెట్ మెటీరియల్:

మెటల్ స్పుట్టరింగ్ టార్గెట్ మెటీరియల్, కోటింగ్ అల్లాయ్ స్పుట్టరింగ్ కోటింగ్ మెటీరియల్, సిరామిక్ స్పుట్టరింగ్ కోటింగ్ మెటీరియల్, బోరైడ్ సిరామిక్ స్పుట్టరింగ్ టార్గెట్ మెటీరియల్స్, కార్బైడ్ సిరామిక్ స్పుట్టరింగ్ టార్గెట్ మెటీరియల్, ఫ్లోరైడ్ సిరామిక్ స్పుట్టరింగ్ టార్గెట్ మెటీరియల్, నైట్రైడ్ సిరామిక్ స్పుట్టరింగ్ టార్గెట్ మెటీరియల్, సెరామిక్ టార్గెట్ మెటీరియల్, సెరామిక్ టార్గెట్ మెటీరియల్స్ సిలిసైడ్ సిరామిక్ స్పుట్టరింగ్ టార్గెట్ మెటీరియల్స్, సల్ఫైడ్ సిరామిక్ స్పుట్టరింగ్ టార్గెట్ మెటీరియల్, టెల్లూరైడ్ సిరామిక్ స్పుట్టరింగ్ టార్గెట్, ఇతర సిరామిక్ టార్గెట్, క్రోమియం-డోప్డ్ సిలికాన్ ఆక్సైడ్ సిరామిక్ టార్గెట్ (CR-SiO), ఇండియమ్ ఫాస్ఫైడ్ టార్గెట్ (InP), లీడ్ ఆర్సెనైడ్ టార్గెట్ (PdbArsenide లక్ష్యం) లక్ష్యం (InAs).