స్పుటర్డ్ టార్గెట్ మెటీరియల్స్ ఉపయోగం సమయంలో అధిక అవసరాలు కలిగి ఉంటాయి, స్వచ్ఛత మరియు కణ పరిమాణం కోసం మాత్రమే కాకుండా, ఏకరీతి కణ పరిమాణం కోసం కూడా.ఈ అధిక అవసరాలు స్పుట్టరింగ్ టార్గెట్ మెటీరియల్‌లను ఉపయోగిస్తున్నప్పుడు మరింత శ్రద్ధ చూపేలా చేస్తాయి.
1. స్పుట్టరింగ్ తయారీ
వాక్యూమ్ చాంబర్, ముఖ్యంగా స్పుట్టరింగ్ వ్యవస్థ యొక్క పరిశుభ్రతను నిర్వహించడం చాలా ముఖ్యం.కందెనలు, దుమ్ము మరియు మునుపటి పూత నుండి ఏదైనా అవశేషాలు నీరు వంటి కాలుష్య కారకాలను పేరుకుపోతాయి, ఇది వాక్యూమ్‌ను నేరుగా ప్రభావితం చేస్తుంది మరియు ఫిల్మ్ ఫార్మేషన్ వైఫల్యం యొక్క సంభావ్యతను పెంచుతుంది.షార్ట్ సర్క్యూట్‌లు, టార్గెట్ ఆర్సింగ్, రఫ్ ఫిల్మ్-ఫార్మింగ్ సర్ఫేస్‌లు మరియు మితిమీరిన రసాయన మలినాలు సాధారణంగా అపరిశుభ్రమైన స్పుట్టరింగ్ ఛాంబర్‌లు, తుపాకులు మరియు లక్ష్యాల వల్ల సంభవిస్తాయి.
పూత యొక్క కూర్పు లక్షణాలను నిర్వహించడానికి, స్పుట్టరింగ్ గ్యాస్ (ఆర్గాన్ లేదా ఆక్సిజన్) శుభ్రంగా మరియు పొడిగా ఉండాలి.స్పుట్టరింగ్ చాంబర్‌లో సబ్‌స్ట్రేట్‌ను ఇన్‌స్టాల్ చేసిన తర్వాత, ప్రక్రియ కోసం అవసరమైన వాక్యూమ్ స్థాయిని సాధించడానికి గాలిని సంగ్రహించడం అవసరం.
2. టార్గెట్ క్లీనింగ్
లక్ష్యం యొక్క ఉపరితలంపై ఉన్న ఏదైనా దుమ్ము లేదా ధూళిని తొలగించడం లక్ష్యం శుభ్రపరచడం యొక్క ఉద్దేశ్యం.
3. లక్ష్య సంస్థాపన
లక్ష్య పదార్థం యొక్క ఇన్‌స్టాలేషన్ ప్రక్రియలో శ్రద్ధ వహించాల్సిన అతి ముఖ్యమైన విషయం ఏమిటంటే, లక్ష్య పదార్థం మరియు స్పుట్టరింగ్ గన్ యొక్క శీతలీకరణ గోడ మధ్య మంచి ఉష్ణ కనెక్షన్‌ను నిర్ధారించడం.శీతలీకరణ గోడ లేదా వెనుక ప్లేట్ తీవ్రంగా వార్ప్ చేయబడితే, అది లక్ష్య పదార్థం యొక్క సంస్థాపన సమయంలో పగుళ్లు లేదా వంగడానికి కారణం కావచ్చు.వెనుక లక్ష్యం నుండి లక్ష్య పదార్థానికి ఉష్ణ బదిలీ బాగా ప్రభావితమవుతుంది, దీని ఫలితంగా స్పుట్టరింగ్ సమయంలో వేడిని వెదజల్లలేకపోవడం, చివరికి లక్ష్య పదార్థం యొక్క పగుళ్లు లేదా విచలనానికి దారి తీస్తుంది.
4. షార్ట్ సర్క్యూట్ మరియు సీలింగ్ తనిఖీ
లక్ష్య పదార్థం యొక్క సంస్థాపన తర్వాత, మొత్తం కాథోడ్ యొక్క షార్ట్ సర్క్యూట్ మరియు సీలింగ్ను తనిఖీ చేయడం అవసరం.కాథోడ్ షార్ట్ సర్క్యూట్ చేయబడిందో లేదో నిర్ధారించడానికి ఓమ్మీటర్ మరియు మెగోహమ్మీటర్ను ఉపయోగించమని సిఫార్సు చేయబడింది.కాథోడ్ షార్ట్ సర్క్యూట్ కాలేదని నిర్ధారించుకున్న తర్వాత, లీకేజీ ఉందో లేదో తెలుసుకోవడానికి కాథోడ్‌లోకి నీటిని ఇంజెక్ట్ చేయడం ద్వారా లీక్ డిటెక్షన్‌ను నిర్వహించవచ్చు.
5. టార్గెట్ మెటీరియల్ ప్రీ స్పుట్టరింగ్
టార్గెట్ మెటీరియల్‌ని ముందుగా స్పుట్టరింగ్ చేయడానికి స్వచ్ఛమైన ఆర్గాన్ గ్యాస్‌ను ఉపయోగించమని సిఫార్సు చేయబడింది, ఇది టార్గెట్ మెటీరియల్ యొక్క ఉపరితలాన్ని శుభ్రపరుస్తుంది.టార్గెట్ మెటీరియల్ కోసం ప్రీ స్పుట్టరింగ్ ప్రక్రియలో స్పుట్టరింగ్ శక్తిని నెమ్మదిగా పెంచాలని సిఫార్సు చేయబడింది.సిరామిక్ లక్ష్య పదార్థం యొక్క శక్తి
పోస్ట్ సమయం: అక్టోబర్-19-2023